生活百科 深圳市恒运昌取得射频电源系统及半导体工艺设备专利，减少射频功率发生电路和反应腔室之间进行阻抗匹配的时间，进而提升工艺效率 本申请实施例可以减少射频功率发生电路和反应腔室之间进行阻抗匹配的时间，进而提升工艺效率。
