金融界2025年2月3日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司取得一项名为“射频电源系统及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请涉及射频应用技术领域，公开一种射频电源系统及半导体工艺设备。该射频电源系统包括射频功率发生电路、切换电路和阻抗匹配电路；射频功率发生电路用于接入外部的交流电压源并输出射频功率；切换电路连接射频功率发生电路的输出端，具有第一输出支路和第二输出支路，可通过第一输出支路或第二输出支路输出射频功率发生电路输出的射频功率；阻抗匹配电路具有至少两组阻抗匹配支路，用于提供针对射频功率发生电路输出的射频功率的阻抗匹配；各阻抗匹配支路分别连接第一输出支路的输出端，各阻抗匹配支路的阻抗值互不相同。本申请实施例可以减少射频功率发生电路和反应腔室之间进行阻抗匹配的时间，进而提升工艺效率。
天眼查资料显示阻抗匹配，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，成立于2013年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5077.1129万人民币，实缴资本5077.1129万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目14次，知识产权方面有商标信息20条阻抗匹配，专利信息266条，此外企业还拥有行政许可17个。
本文源自金融界
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